目前，使用压缩空气操作的AOV阀（气动阀）主要用作切换MO材料气体的阀。AOV阀门便宜且易于构造并且普遍受欢迎。

　　然而，由于操作时间的变化取决于管长度，操作压力和同时操作中的阀门数量，因此高精度地打开和关闭阀门是非常困难的。因此，管道内的压力存在相当大的波动，这会扰乱处理室内的MO材料的浓度，并导致膜厚度和质量的变化，这对产品质量有不良影响。

　　因此，为了满足制造公司需要陡峭的气体交换的需要，出现了阀门电动装置，其可以在超高速开闭，并获取为一专利“电磁操作式金属隔膜型控制阀”，在2000年成功实现产品化。